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SEC-Z522MGX horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z522/Z532/Z542 小量程0-20sccm，大量程0-200SLM 高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.) 模擬信號輸出：0-5VDC，可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計SEC-Z514MGX/Z524MGX 小量程0-2sccm，大量程0-50SLM 高精度：1.0% S.P. (25-100% F.S.);0.25% F.S. (≤25% F.S.) 數(shù)字通訊：DeviceNet

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z512 小量程0-2sccm，大量程0-50SLM 高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.) 模擬信號輸出：0-5VDC，可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議

數(shù)字式氣體質(zhì)量流量計SEC-Z512MGX、Z522MGX多用于進(jìn)口設(shè)備的PEVCVD、MOCVD中，我公司提供進(jìn)口Z514、Z524，保修期1年。

SEC-N122MG質(zhì)量流量控制器Horiba N100 特點(diǎn)：1、最小流量1sccm，最大流量1000SLM；2、最高精度0.3% ；3、不受壓力影響；3、可選多種數(shù)字通訊：RS485、profibus、cc-link、EtherCAT、DeviceNet。

Horiba氣體質(zhì)量流量計SEC-N172R/SEC-N176R特點(diǎn)： 通訊模式：數(shù)字式、模擬式； 滿量程范圍 ：0-300SLM , 可選0-500SLM，0-1000SLM； 模擬輸出、數(shù)字通訊二選一。

Horiba自動壓力控制器R600基本特點(diǎn)： 1、控制類型：背壓控制 2、壓力范圍：300kpa 3、閥門類型: 電磁閥（常閉） 4、輸出：模擬0-5V或者數(shù)字RS485

Horiba質(zhì)量流量計SEC-8000系列特點(diǎn)： 高精度±1.0%設(shè)定點(diǎn) 高速響應(yīng) 超潔凈設(shè)計 符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)

SEC-Z500X系列 Horiba質(zhì)量流量計高精度±1.0%設(shè)定點(diǎn)。該質(zhì)量流量控制器的線性度由多項式近似曲線補(bǔ)償，并實(shí)現(xiàn)在所有流量控制范圍內(nèi)的高精度。為提高實(shí)際氣體精度，不同工藝氣體的標(biāo)定數(shù)據(jù)由HORIBA STEC公司的標(biāo)準(zhǔn)氣體測量系統(tǒng)測量。 高速響應(yīng)：裝配“可變PID系統(tǒng)”，可在任意兩個設(shè)定點(diǎn)之間實(shí)現(xiàn)1秒響應(yīng)。可變PID根據(jù)流量點(diǎn)設(shè)置不斷變化。

horiba流量計SEC-Z700S可以直接測量管道內(nèi)流體的質(zhì)量流量，測量精度為0.2級，流體測量管內(nèi)部無障礙物和活動部件，因而可靠性高、壽命長。