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產(chǎn)品分類產(chǎn)品中心/ products
GR312F、GR314F、GR317F、GR511F、GR-224FD Horiba 壓力控制器GR-312F GR-314F GR-317F是GR-300系列中的暢銷產(chǎn)品,實(shí)現(xiàn)晶圓背面氣體的壓力控制器,該氣體用于冷卻晶圓表面溫度。 常用氣體是氦氣和氬氣。 GR312F壓力控制器是0-5V或者RS485通訊,可以選擇GR317F,實(shí)現(xiàn)EtherCAT通訊。
更新日期:2025-02-20晶圓背部壓力控制器Horiba GR-511F GR312F,熱門型號(hào)是GR-511F,又稱壓力自動(dòng)調(diào)節(jié)閥, 用于半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)中晶圓背面壓力的控制器,實(shí)現(xiàn)冷卻系統(tǒng)的冷卻功能。
更新日期:2025-02-20UR-Z712M-B是horiba數(shù)字式壓力控制器壓力調(diào)節(jié)閥中的暢銷款, 控制該壓力控制器前端的壓力。 控制壓力范圍0.02M-Bar-9.5M-Bar, 數(shù)字通訊; 主要功能消除后端壓力波動(dòng)對(duì)前端腔體壓力的影響(入口控制型)。
更新日期:2025-03-02UR-Z714M-B是horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z714M IGS 14W3中的暢銷款, 模塊化的IGS接口形式。 控制該壓力控制器前端的壓力。 多用于消除后端壓力波動(dòng)對(duì)前端腔體壓力的影響,又被稱為:入口控制型。 控制壓力范圍20-950KPa, Devicenet數(shù)字通訊 接口IGS IGS 14W3
更新日期:2025-03-02UR-Z734M-B是horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z734中的暢銷款,控制該壓力控制器前端的壓力。 控制壓力范圍0.02M-Bar-9.5M-Bar, Devicenet數(shù)字通訊 消除后端壓力波動(dòng)對(duì)前端腔體壓力的影響(入口控制型)
更新日期:2025-03-02UR-Z724M-B是horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z724中的暢銷款,控制該壓力控制器前端的壓力。 控制壓力范圍0.02M-Bar-9.5M-Bar, Devicenet數(shù)字通訊 消除后端壓力波動(dòng)對(duì)前端腔體壓力的影響(入口控制型)
更新日期:2025-03-02UR-Z714M-B是horiba數(shù)字式壓力控制器壓力調(diào)節(jié)閥UR-Z714 中的暢銷款,控制該壓力控制器前端的壓力。 控制壓力范圍0.02M-Bar-9.5M-Bar Devicenet數(shù)字通訊 消除后端壓力波動(dòng)對(duì)前端腔體壓力的影響(入口控制型)
更新日期:2025-03-02UR-Z712M-B是horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z712中的暢銷款,控制該壓力控制器前端的壓力。 控制壓力范圍0.02M-Bar-9.5M-Bar, 數(shù)字通訊; 消除后端壓力波動(dòng)對(duì)前端腔體壓力的影響(入口控制型)。
更新日期:2025-03-02UR-Z732M-B控制該壓力控制器前端的壓力。 horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z732MB 控制壓力范圍10-500KPa, 數(shù)字通訊 消除后端壓力變動(dòng)對(duì)前端腔體壓力的影響(入口控制型)
更新日期:2025-03-02UR-Z722M-B是horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z700中的暢銷款,控制該壓力控制器前端的壓力。 控制壓力范圍0.02M-Bar-9.5M-Bar, 數(shù)字通訊 消除大流量氣路切換引起的串?dāng)_影響(出口控制型)
更新日期:2025-03-02CONTACT
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