UR-Z712M-B horiba數(shù)字式壓力控制器壓力調(diào)節(jié)閥UR-Z712

控制壓力范圍0.02M-Bar-9.5M-Bar，數(shù)字通訊

暢銷型號：UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B、GR-312F、GR-317F、GR-511F、GR-224FD。

UR-Z712M-B是UR-Z700中的一款，控制該壓力控制器前端的壓力。

UR-Z700系列是高性能自動壓力控制閥配備電子調(diào)節(jié)閥，帶有高精度壓力傳感器和高分辨率、快速響應(yīng)的壓電閥。根據(jù)接收到的外部控制信號控制壓力。

UR-Z712M、UR-Z722M、UR-Z732M、UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、支持模擬輸出和RS485通訊

UR-Z714M、UR-Z724M、UR-Z734M、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B支持DeviceNet™通訊模式。

horiba數(shù)字式壓力控制器壓力調(diào)節(jié)閥UR-Z712M-B產(chǎn)品性能：

·分兩種應(yīng)用：入口控制型（-M-B型）和出口控制型

·消除大流量氣路切換引起的串擾影響（出口控制型）

·快速響應(yīng)：0.5秒內(nèi)

·靈活的設(shè)計：可以安裝在任何位置，適用于各種氣體供應(yīng)系統(tǒng)

·進氣壓力多種選擇：表壓、絕對壓力

·符合RoHS標準（UR-Z704系列）

·超潔凈：全金屬結(jié)構(gòu)

參數(shù)表：

產(chǎn)品背面圖

產(chǎn)品安裝孔圖

周邊產(chǎn)品：

Horiba品牌介紹：

HORIBA是全球著名的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商，主要提供氣體質(zhì)量流量控制器、液體質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、汽化器。在半導(dǎo)體設(shè)備PECVD、MOCVD、Etch等關(guān)鍵工藝有非常廣泛的應(yīng)用。

壓力控制器暢銷型號

UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B、GR-312F、GR-317F、GR-511F、GR-224FD。

與壓力控制器 配套的有 質(zhì)量流量計，暢銷型號：

進口高性能數(shù)字型號: SEC-Z512KX、SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGXN、SEC-Z532MGX、SEC-Z514KX、SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGXN、SEC-Z534MGX、SEC-Z517MGX

SEC-Z527MGXN.

進口低成本數(shù)字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N116MGM、SEC-N122MGM、SEC-N124MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N172R、SEC-N176R.

模擬型質(zhì)量流量控制器：SEC-E40MK3、SEC-E50MK3、SEC-E40V、SEC-E50V，SEC-E431X、SEC-E441X、SEC-E531、SEC-E541

液體質(zhì)量流量控制器：LV-F20PO、LV-F30PO、LV-F30PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60PO

液體質(zhì)量流量計LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F60M