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Horiba 微小液體質量流量器LV-F60MO流量計

  • 產品型號:
  • 更新日期:2025-02-25

簡要描述:Horiba 微小液體質量流量器LV-F60MO流量計, 量程100g/min, 精度1%。適應于低沸點液體、高粘度液體。
微小液體質量流量控制器LV-F控制液體流量,液體質量流量計LF-F測量液體流量。
暢銷型號:LV-F60PO、LV-F60MO、LV-F40PO、LV-F40MO、LV-F50MO、LV-F30MO、LF-F60M-A、LF-F50M-A、LF-F40M-A

產品詳情

Horiba 微小液體質量流量器LV-F60MO流量計

量程100g/min,精度1%


暢銷型號:LV-F60PO、LV-F60MO、LV-F40PO、LV-F40MO、LV-F50MOLV-F30MO、LF-F60M-A、LF-F50M-A、LF-F40M-ALF-F30M-A、LF-F20M-A。

概要

Horiba微小液體質量流量控制器LV-F、液體質量流量計LF-F,屬于在線流量計,用于測量管路流量。

Horiba 微小液體質量流量器LV-F60MO流量計用于控制液體流量,LF-F液體質量流量控制器、LV-F液體質量流量計采用波爾貼原理冷卻液體,而非常見的熱交換方法。該技術消除了低沸點液體沸騰的風險,實現更低沸點液體的安全控制。

特征

  • 通過采用數字回路,實現了高精度?高速響應。

  • 可以進行微升以上的微小流量控制。

  • 可以對低沸點液體、高粘度液體進行精密的流體控制。

  • 超潔凈EP

選型要求:按以下規(guī)格確認型號,并請?zhí)峁﹨担?strong>介質名稱、量程、接口尺寸。

技術參數 

名稱

液體質量流量控制器

型號

LV-F20PO/LV-F20MO  

LV-F30PO /LV-F30MO

LV-F40PO /LV-F40MO

LV-F50PO /LV-F50MO

LV-F60PO /LV-F60MO

全標度流量(g/min)

0.02/0.05/0.1

0.2/0.5

1/2/5

10/20

50/100

標準接頭

1/16",1/8"卡套;

1/8"VCR

1/8"卡套,1/8"VCR

1/4"卡套,1/4"VCR

檢測控制范圍

5?100% F.S.

對象液體種類*1

可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。

液體粘度*2

max. 0.01 Pa·s (10cp)

精度*3

±1% F.S.

直線性*3

±0.5% F.S.

重復性*3

±0.5% F.S.

響應精度

3秒以內(T98)

2秒以內(T98)

使用環(huán)境溫度*4

5?50(15?45℃精度的確保)

溫度影響Span

±0.1%F.S./℃ max值±1%

工作差壓值*5

0.05?0.3MPa

耐壓

1MPa

壓力損失

流量設定信號

模擬:0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)

數字式:RS485(F-Net通信協(xié)議)

流量輸出信號

模擬:0?5 VDC(min負荷電阻2kΩ)

數字式:RS485(F-Net通信協(xié)議)

電源

+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%,   200 mA

外部泄漏率

PO類型:1×10-8Pam3/s (He)   ,

MO類型:5×10-12Pam3/s   (He).

接液部材質

PO類型:SUS316LNi,PTFEPFA 

MO類型:SUS316L,Ni

 

名稱

液體質量流量計(不帶控制)

型號

LF-F20M-A

LF-F30M-A

LF-F40M-A

LF-F50M-A

LF-F60M-A

全標度流量(g/min)

0.02/0.05/0.1

0.2/0.5

1/2/5

10/20

50/100

檢測控制范圍

5?100% F.S.

對象液體種類*1

可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。

液體粘度*2

max. 0.1 Pa·s (100cp)

精度*3

±1% F.S.

直線性*3

±0.5% F.S.

重復性*3

±0.5% F.S.

響應精度

3秒以內(T98)

2秒以內(T98)

使用環(huán)境溫度*4

5?50(15?45℃精度的確保)

溫度影響Span

±0.1%F.S./℃ max值±1%

工作差壓值值

max. 5MPa (視為流量計) / 50?300kPa (with piezo控制閥)

耐壓

1MPa (視為流量計)

壓力損失

max. 500Pa

流量設定信號

模擬:0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)

數字式:RS485(F-Net通信協(xié)議)

流量輸出信號

模擬:0?5 VDC(min負荷電阻2kΩ)

數字式:RS485(F-Net通信協(xié)議)

驅動電源

+15 V ±5%, 200 mA; -15 V ±5%, 200 mA

外部泄漏規(guī)格

5×10-12Pa·m3/s (He)

接液部材質

SUS316L, Ni

標準接頭

1/16",1/8"卡套;

1/8"VCR

1/8"卡套;

1/8"VCR

1/4"卡套,

1/4"VCR

*1LF-F/LV-F系列質量流量控制器利用1種液體進行了流量校正(請預先確定所使用 的液體。)
?不能檢測含有固體物的液體。
?如果混合液中混合比會發(fā)生變化時,請預先進行咨詢協(xié)商。
?LV-F系列質量流量控制器如果在所測液體中含有粒子等時,請在入口端安裝0.2μm(Abs.)以下的過濾器。
*2
LF-F類型質量流量控制器根據流量量程,可以用于粘度值 max 0.1Pas。有關高粘度的液體請預先進行咨詢協(xié)商。
*3
: 以SEMI E56-1296為準。
*4: 進行測量/控制
時,如果液體溫度低于環(huán)境溫度,請把溫差控制在10℃以 內;如果液體溫度高于高于環(huán)境溫度,請把溫差控制在3℃以內。

 冷卻測量方法
Horiba微小液體質量流量控制器LV-F、液體質量流量計LF-F的流量傳感器由與毛細管接觸的電子冷卻元件(珀爾帖元件)以及幾個溫度檢測元件組成。當液體流動時,傳感器檢測對應流量的溫升(ΔT),并以流量顯示。與熱交換不同,這種冷卻方法能夠測量低沸點液體的流量。此外,該方法還能防止由于二次排放(汽化)的影響而產生的干擾問題,使精確的流量測量成為可能。

測量原理
Horiba微小液體質量流量控制器LV-F、液體質量流量計LF-F采用相同的測量原理。液體質量流量器LV-F60MO還配備一個壓電閥和一個內部比較控制回路。對流量設定信號和流量輸出信號進行比較,并自動控制閥門孔徑,使兩個信號匹配以控制液體。由于采用了反饋控制系統(tǒng),不會因外部因素而導致流量變化,因此確保了穩(wěn)定和精確的控制。

 


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